Kaj je polirna plošča iz visoko čiste aluminijeve oksidne keramike?

Z naglim razvojem polprevodniške industrije se je obseg industrije hitro povečal, oprema za proizvodnjo polprevodnikov pa se je še naprej razvijala v natančnost in kompleksnost. Ker ima keramika prednosti visoke trdote, visokega elastičnega modula, visoke odpornosti proti obrabi, visoke izolacije, odpornosti proti koroziji, nizkega raztezanja itd., se lahko uporablja kot del strojev za poliranje silicija, opreme za epitaksialno/oksidacijsko/difuzijsko toplotno obdelavo, litografskega stroja, opreme za nanašanje, opreme za jedkanje polprevodnikov, stroja za ionsko implantacijo in druge opreme, zato raziskave, razvoj in proizvodnja preciznih keramičnih delov neposredno vplivajo na razvoj polprevodniške industrije. Tehnične zahteve za njihovo pripravo so vse višje.

Visoko čist aluminijev oksid, 99,7 %–99,9 % aluminijev oksid.
Visoka mehanska trdnost, visoka odpornost proti obrabi, visoka električna izolacija, visoka kemična stabilnost, dobra toplotna odpornost in odpornost proti koroziji. Trenutno je uporaba keramičnih brusnih diskov za brušenje polprevodniških silicijevih rezin najbolj vrhunska in najsodobnejša metoda brušenja. Za brušenje rezanih silicijevih rezin se uporablja dvostranski postopek brušenja, kakovost brusne rezine pa se izboljša z izboljšanjem postopka brušenja (material diska, brusilna tekočina, tlak in hitrost brušenja itd.). Zlasti uporaba keramičnih plošč namesto litoželeznih plošč preprečuje brušenje glavne površine rezine zaradi brazgotin ali onesnaženja, zmanjšuje vnos kovinskih ionov, lahko zmanjša nadaljnjo obdelavo silicija, skrajša čas nadaljnjega postopka (korozije), izboljša učinkovitost proizvodnje in zmanjša izgube pri obdelavi silicija, kar močno izboljša izkoriščenost silicija.

Plošča za poliranje rezin z visoko vsebnostjo aluminijevega oksidaUporablja se v polprevodniški, naftni, kemični, fotovoltaični, tekočekristalni in drugih industrijah, kot so mehanski deli, elektronski deli, mikrovalovni indukcijski diski, izolacijski materiali in drugi deli, polprevodniške naprave, vakuumska oprema, oprema za proizvodnjo tekočih kristalov in drugi deli. Velika in visoko čista aluminijeva keramika ima pomembno uporabno vrednost v industriji safirjev in industriji polprevodniških čipov. Je ključni nosilec in potrošni material za kemično-mehansko poliranje (CMP) safirnih in polprevodniških silicijevih rezin. Velika in visoko čista aluminijeva keramika se lahko uporablja tudi kot aluminijev substrat za LCD.