Čemšunpolirna plošča iz aluminijevega oksida/obratna miza je izdelana iz visoko čistega 99,7-99,9 % aluminijevega oksida. Visoko čista aluminijeva keramika se odlikuje z izjemno togostjo in odlično odpornostjo proti obrabi pri poliranju rezin ter ohranja dobro obliko površine dlje časa. Oblikovana je s PIBM. Je del polprevodniške industrije zaradi svoje neprimerljive toplotne in dimenzijske stabilnosti ter odpornosti na zahtevna okolja opreme za obdelavo mikročipov.
Kemijsko-mehanska planarizacija (CMP), znana tudi kot kemijsko-mehansko poliranje, je tehnologija v proizvodnem procesu polprevodniških naprav. Uporablja kemično korozijo in mehanske sile za sploščevanje silicijevih rezin ali drugih substratov med obdelavo.
Oprema CMP je v glavnem razdeljena na dva dela: polirni del in čistilni del. Polirni del je sestavljen iz 4 delov, in sicer iz 3 polirnih vrtljivih miz in modula za nalaganje in razkladanje rezin. Čistilni del je odgovoren za čiščenje in sušenje rezine, da se doseže "sušenje navznoter in navzven". V celotni opremi za poliranje ima aluminijeva keramika pomembno vlogo.
Aluminijeva keramika se običajno uporablja za izdelavo polirnih diskov za rezine, ki zahtevajo visoko čistost, visoko kemično odpornost in dober nadzor nad obliko in hrapavostjo površine.
Keramični brusni disk Chemshun 99,7 % Al2O3 je izdelan iz naprednih keramičnih materialov, ki so primerni za fino brušenje različnih materialov, zlasti za brušenje krhkih materialov, kot so rezine, keramika in steklo. Naš keramični brusni disk je mogoče izdelati v različnih velikostih glede na različne modele brušenja in poliranja.
Čas objave: 30. maj 2025